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露光方式
ダイレクトイメージング方式
基板サイズ
334×334~534×622mm
露光光源
Laser Diode / 405nm
解像性能
L/S = 12/12μm
アライメント
±10μm
流れ方向
右→左(R流れ)※片側機
真空密着方式
250×300~510×610mm
2灯式/5kW超高圧水銀ランプ
SRO = Φ50 μm
±5μm
右→左(R流れ)
250×300~535×625mm
1灯式/5kW超高圧水銀ランプ
L/S = 40/40μm
左→右(L流れ)
加圧密着方式
①:左→右(L流れ) ②:左→右(L流れ)
2灯式/10kWメタルハライドランプ
φ100μm
左→右(L流れ)
254×305~559×635mm
L/S = 75/75μm
±10μm/±5μm
①:右→左(R流れ) ②:左→右(L流れ)
250mmまたは500mm
250×330~535×635mm
5kW超高圧水銀ランプ
250×250~535×635mm
―
直接描画方式 (ダイレクトイメージング方式)
334×334~551×640mm
Laser Diode / 375+405nm
L/S = 15/15 μm
±7.5μm