露光装置

■掲載技術・製品について
当用語集には、アドテックエンジニアリングおよびウシオ電機グループ各社で製造・販売を行なっていない技術・製品も含まれております。予めご了承ください。
・「※１」が付いている用語は、「JPCA　電子回路用語定義」から引用されています。詳細はJPCA公式サイトをご参照ください。
・「※２」が付いている用語は、ウシオ電機の公式サイトから引用されています。詳細はウシオ電機 光技術用語解説をご参照ください。