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i線

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■掲載技術・製品について
当用語集には、アドテックエンジニアリングおよびウシオ電機グループ各社で製造・販売を行なっていない技術・製品も含まれております。予めご了承ください。
・「※1」が付いている用語は、「JPCA 電子回路用語定義」から引用されています。詳細はJPCA公式サイトをご参照ください。
・「※2」が付いている用語は、ウシオ電機の公式サイトから引用されています。詳細はウシオ電機 光技術用語解説をご参照ください。

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i線

英語名 I wave length
読み方 あいせん
解説 i 線とは、波長365nmの水銀のスペクトル線のこと。 水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、253.652nm、296.728nm、312.566nm、365.015nm、404.656nm、407.781nm、434.750nm、435.835nm、546.074nm、576.959nm、579.065nm、690.716nm、1013.98nmがある。このうち、紫外域の波長365.015nm≒365nmのスペクトル線を i 線と言い、この波長を利用したステップアンドリピート(step and repeat)方式の露光装置を i 線ステッパなどと言う。 ※2