ダイレクト式露光装置

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英語名	direct imaging exposure system, direct imaging exposure equipment
読み方	だいれくとしきろこうそうち
解説	ダイレクト式露光装置(もしくは直描式露光装置、デジタル式露光装置、DI）とは、マスクを利用してパターンや画像を転写する装置に対して、これらのマスクを用いず描画データをレーザーダイオードなどの光源により、直接的に描画する露光装置のこと。