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高平面度、Full-CFRPハニカムパネル 装置のステージ等駆動部を金属からCFRP製に置き換えることで、 高精度かつ移動時間短縮が可能。 参考動画:https://www.youtube.com/watch?v=ArltVR9gpuo
●搭載条件に合わせた CFRP 配向設計 ●軽量・高剛性:重量アルミの1/2 ●低膨張:熱膨張係数-0.1x10-6 ●高平面度:5μm/□500mm
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