只有旋风毛刷和吸尘功能的简易干式清洗机。
ECONOMY
ECOLOGY
EASY MAINTENANCE
规格
| 对应基板宽度 |
300～650mm |
| 对应基板厚度 |
刚性基板 0.04～3.2mm |
| 毛刷线径 |
VSC:约30µm
LSC:约18～30µm |
| 毛刷旋转数 |
＊＊＊rpm(50Hz) |
| 吸尘能力 |
5㎥／min 1.5kPa(50Hz设定时)
过滤器:5µ以上99%补集 |
| 搬送高度 |
895～945mm |
| 搬送部速度 |
0.6～3 或 1.8～6m/min |
| 实用程序 |
AC100～110V 9A 集尘机包含在内
可连接电离器用CDA |
| 装置大小 |
W350×D1000×H1150mm |
| 装置各重量 |
本体：120㎏
集尘机：50㎏ |
双旋风机原理
什么是双旋风机・・・
- 上下接连安装2个刷子＝双毛刷机构
- 采用了位于上下两侧的刷进行内侧旋转，其旋转方向与产品流动方向无关，以防止污染物泄露到外侧的结构。
- 通过上下两侧的集尘软管，高效吸收排放到毛刷内侧的污染物。
- 旋风机Head→考虑毛刷的互换性的人性化设计（筒形Type）
隐藏在简洁中的匠技
点击1可以查看详细内容。
1实用程序
- AC100～110V 9A
- 通过连接CDA（Φ6）确保除电效率
- 可支持各种电压
※选配
2集尘机排气口
※选配
- 连接工厂排气管
- 无尘室中使用时必须要配备
- 请准备25.150.200mm配管
3吸附输送机减震器
可以调整吸附输送机的吸附力
请进行最适合于基板输送的调整
5旋风机软刷
[VSC用]
支持除尘或去除小毛刺等所有应用
[LSC用]
对L/S 75μm以下的去污有効
采用不损伤镀金面的特殊纤维的独创软刷
6V型双旋风机
- 通过将旋风机头配置V型，薄的基板等也能稳定地输送
- 标配了支持0.04～3.2mm基板厚度的上下刷之间的间隙调整器
7旋风机头
- 最大限度考虑毛刷交换性之人性化设计
- 也接受单体单独机构订购
※选配
- 对应薄板的零部件
※选配
- 减少毛刷卷入
- 单触操作即可进行装卸
8吸附输送机
- 独创的吸附皮带和传送滚轮材质为聚氨基甲酸乙酯
- 皮带及滚轮的带电压达到50V以下
9支持板弯翘之组件
※选配
- 支持弯曲起伏量10mm以下的基板组件。
- 采用传动皮带的方式
10清洁窗
随时可从外侧目视观察控制集尘器的变换器和传送带速度等装置的运转状态。
12
※选配
投放・排出输送机
准备L900、L615、L325（图片为附带L615输送机）
特长
具有与5轴黏尘滚轮之相同能力
黏尘滚轮除了具备平面上的去污能力外，通过毛刷的配合，对图案电路形成后的沟槽的去污能力也很出色。
特别是，AOI工序中的良率得到了改善。(减少假点)
降低运行成本
消耗零部件只有8根毛刷，有助于降低成本。
(更换毛刷标准:600h～1800h)。
活用于各种工程中
下面介绍通过引进毛刷式旋风除尘器(VSC)的效果事例。
| 工序 |
効果的事例 |
| 粘贴干膜前 |
去除导致曝光不良的粉尘96%以上。 |
| 曝光前 |
去除导致曝光不良的粉尘96%以上。 |
| AOI前 |
AOI的假点明显减少，获得了AOI·修补工序间之
效果，不再有停滞基板。
|
| 粗化前 |
硫酸槽的维护频率减少到1/3以下。 |
| V剪切・Routing・鉆孔后 |
如果用清洁滚轮，粘胶片很快会被切成粉末，
来不及进行清洁，因此替换成VSC。 |
| 隔纸清洁 |
为了能够获得与水洗一样的效果，因此从水清洗替换为VSC→可及时冲洗。除去合纸表面的铜片98以上。 |
| 激光打靶后 水清洗前 |
水清洗槽内的磷明显减少，槽体的维护频率减少到1/5以下。
|
| 图形形成 整体 |
在L/S=75μm以下清洁滚轮中，清洁困难的凹陷部位，采用VSC后，可以去污除尘。 |