只有旋風刷和吸塵功能的簡易式清洗機。
ECONOMY
ECOLOGY
EASY MAINTENANCE
規格
| 對應基板寬度 |
300～650mm |
| 對應基板厚度 |
基板 0.04～3.2mm |
| 毛刷線徑 |
VSC:約30µm
LSC:約18～30µm |
| 毛刷回轉數 |
＊＊＊rpm(50Hz) |
| 吸塵能力 |
5㎥／min 1.5kPa(50Hz設定時)
過濾器:5µ以上99%過濾 |
| 標準工作高度 |
895～945mm |
| 輸送段速度 |
0.6～3 或 1.8～6m/min |
| UTILITY |
AC100～110V 9A 集塵機包含在內
可連接電離器用CDA
|
| 裝置大小 |
W350×D1000×H1150mm |
| 裝置各重量 |
本體：120㎏
集塵機：50㎏ |
雙旋風機原理
什麼是雙旋風機・・・
- 上下接連安裝2個毛刷＝雙軸機構
- 採用了位於上下兩側的刷子進行內側旋轉，其旋轉方向與基板流向無關，以防止污染物洩露到外側的結構。
- 通過上下兩側的集塵軟管，高效地吸收排放到刷子內側的污染物。
- 旋風機Head→考慮刷子的互換性的人性化設計（筒形Type）
隱藏在簡潔中的功夫
點擊1可以查看詳細內容。
1UTILITY
- AC100～1101V 9A
- 通過連接CDA（Φ6）確保除電效率
- 可支援各種電壓
※選配
2集塵機排氣口
※選配
- 支援連接工廠排氣管
- 無塵室中使用時必須
- 請準備25.150.200mm導管
3吸附輸送機減震器
可以調整吸附輸送機的吸附力
請進行最適合於基板輸送的調整
5旋風機軟刷
[VSC用]
支援除塵或去除小毛刺等應用
[LSC用]
對L/S 75μm以下的去汙有効
採用不損傷鍍金面的特殊纖維的獨創軟刷
6V型雙旋風機
- 藉由將旋風機頭配置成V型，薄板等也能穩定地輸送
- 標配了支持0.04～3.2mm基板厚度的上下刷之間的間隙調整器
7旋風機頭
- 最大限度考慮刷子交換性的人性化設計
- 也接受單體訂購
※選配
- 處理中間脆弱的基板時支援薄物的零部件
※選配
- 減少捲板
- 單鍵操作即可進行裝卸
8吸附輸送機
- 獨創的吸附皮帶和傳送輪材質為用聚氨基甲酸乙酯
- 皮帶及滾輪的帶電壓達到50V以下
9支援有彎曲起伏的基板元件
※選配
- 支援彎曲起伏量10mm以下的基板的組件。
- 採用了引進傳動皮帶的方式
10清潔窗
隨時可從外側目視觀察控制集塵器的變換器和傳送帶速度等裝置的運轉狀態。
12
※選配
投放・排出輸送機
準備L900、L615、L325（圖片中帶有L615輸送機）
特長
具有與5軸清潔機相同的能力
除了具備黏著滾輪平面上的去汙能力外，藉由毛刷，對線路形成後的溝槽的去汙能力也很出色。
特別是，AOI製程中的妥善率得到了改善。(誤判減少)
降低運行成本
消耗零部件只有8根刷子，有助於降低成本。
(更換刷子標準:600h～1800h)。
活躍在多項工程中
下面介紹通過引進刷式旋風除塵器(VSC)的效果事例。
| 製程 |
有效案例 |
| 壓膜Dryfilm前 |
去除導致曝光不良的粉塵96%以上。 |
| 曝光前 |
去除導致曝光不良的粉塵96%以上。 |
| AOI前 |
AOI的誤判明顯減少，改善AOI· 複檢台的搭配性
不再有停滯基板。
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| 粗化前 |
硫酸槽的維護頻率減少到1/3以下。 |
| V剪切・Routing・鑽孔後 |
如果用清洁滾輪，粘胶片很快會被累積粉末，來不及進
行清潔，因此替换成VSC。
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| 隔紙清潔 |
能夠獲得與水洗一樣的效果，因此從水清洗替換為
VSC→可適時沖洗。除去隔紙表面的銅渣98%以上。
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| 鐳射蓋印後 水清洗前 |
水清洗槽內的磷明顯減少，槽的維護頻率減少到1/5以下。
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| 線路 整體 |
在L/S75μm以下清潔滾輪清潔困難的凹部，採用VSC後，可以去汙除塵。
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