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ここはこの工場で1番の目玉と言っても過言ではないでしょう。
そもそもクリーンルームとは、埃を極力排除した部屋のことです。精密機械を扱う工場では、その埃で不具合を起こす可能性が出てしまうので、この部屋で作業します。その単位は「クラス1,000」、「クラス5,000」と言われ、その意味は、「クラス1,000」なら0.5μm以下の埃が、1ft3当たり、1,000個以下に抑えられている、ということになります。ちなみに、私たちの生活している環境での埃の数は、無限大、です。
このクリーンルームが第2工場には2室あります。
まず、総組立室の「クラス50,000」のクリーンルーム。組立室までクリーンルームであるというのは、露光装置メーカーとしてはあまりありません。しかし、そのあとの工程である検査・試験室が、「クラス1,000」を保っているため、前段階として、少しでも製品に埃が付かないように「クラス50,000」の部屋が必要となるのです。
そして、検査・試験室の「クラス1,000」のクリーンルームです。お客様であるプリント基板メーカーですら「クラス10,000」が一般的ですので、本当はそこまでのレベルのクリーンルームは必要ありません。しかし、近い将来プリント基板の配線はもっと細かくなります。そうなった場合にも対応できるようにと、これだけのクリーンルームを作りました。
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 クリーンルーム入室時のスタイル |