• なぞり式検査装置の心臓部ともいえるニードルホルダー（測定治具）は独自のノウハウを活かした機構を採用することにより、L/S＝50/10μmのファインピッチ対応を実現しました。
• さらに、測定治具の基板への接触圧を調整可能な構造とし、デリケートな基板へのキズ対策を考慮しています。

なぞり方式とは

より高精細なパターンピッチの測定は、機械精度などの剛性面の強化だけではなく、ソフトウェアの補正機能も含めた条件設定管理が必要不可欠となります。
そこでLPC-500Fでは、別途専用のファインピッチ対応ツール（オプション）を搭載する事により、L/S=40/10μmのファインピッチ測定を可能としました。

基板の面付け数に左右されずに一定速度で基板を掃引するため、面付け数やライン本数が増えても検査時間が遅くなりません。面付け数の多い携帯電話やPDA端末など有機EL・STNパネルの中小型多面付け基板の測定に最適です。

ニードルホルダーの配置を換えることで段取りが行えるため、品種毎に治具を用意する必要がなく、ランニングコストを軽減します。また、LPC-500Fは、煩わしい測定方法変更時の配線交換作業を廃止し、タッチパネル上で段取り替え作業が可能となったため、簡単かつ短時間で設定する事が出来ます。