6インチサイズ（152×152mm）の小さなマスクで、250×200mm（φ320mm）の大面積を一括露光することができます。さらにマスクコストを抑えられると共に、マスク収納スペースを小さくできます。

レンズ加工精度、レンズ取り付け方法のバラツキなどを設計段階から考慮し、ディストーションを極力抑えた、全面均一な高解像度を達成しました。

510×610mm基板を6ショット、510×410mm基板を4ショットで露光可能なため、生産性に優れています。

深い焦点深度の実現により、凹凸のある基板や反り・うねりのある基板にも、容易に対応が可能です。

投影倍率をX・Y方向独立して、リアルタイムに自動調整が可能なため、プリント基板に特有な基板伸縮を、精度良く補正することが可能です。

マスク上のアライメントマークの投影像と、基板上のマークをそれぞれ別々のCCDで同時検出するため、高精度なX・Y独立変倍とアライメントが可能です。

レチクル（マスク）チェンジャによりマスクの交換を自動的に行えます。