| 高精度アライメント |
露光ステージ上で位置合わせを行い、更に露光直前での再確認を行うことにより、露光位置精度の信頼性を高めています。また、画像処理に形状サーチ方式を採用したことにより、マークの認識能力が向上しています。 |
| 2段テーブル構造 |
露光ステージへの基板吸着は、基板サイズに合わせた最適なエリアで吸着するので、安定した密着が得られます。
さらに露光ステージは2段スライド構造となっており、一方が露光作業中に、もう一方の露光テーブルで次の基板の準備ができます。 |
| ゴミ発生の抑制 |
オールステンレスカバーに加え、イオナイザーの搭載・HEPAフィルタを介してのダウンフロー化により、浮遊ゴミによる不良の発生を抑えています。 |
| 操作性及び段取り替え |
操作は対話式タッチパネルで行います。また、ワーク種類の登録はカメラ位置を含め1000種類の登録が可能なため、多品種少ロット生産に最適な操作性、段取り性を兼ね揃えています。 |
| 分割露光 |
ADEX5100 seriesに標準搭載されている、分割露光シャッターの搭載も可能な構造としました。
分割露光（分割シャッター機能）とは
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