| 高精度アライメント |
- 露光ステージ上で位置合わせを行い、更に露光直前での再確認を行うことにより、露光位置精度の信頼性を高めています。また、画像処理に形状サーチ方式を採用したことにより、マークの認識能力が向上しています。
- さらに、従来のマーク按分方式に加え、新たにMMD（マーク間距離最小法）方式での位置合わせも可能としました。
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| 薄板基板対応／1枚テーブル構造 |
露光ステージは継ぎ目の無い1枚テーブルの採用により、フレキシブル基板など薄板基板の安定した搬送・密着・露光が可能です。 |
| ゴミ発生の抑制 |
オールステンレスカバーに加えて、イオナイザーの搭載・HEPAフィルタを介してのクリーンエアをマスクホルダ上面に吹き付け、ゴミによる不良の発生を抑えています。 |
| 高速基板搬送機構 |
基板の搬送は真空密着によるハンド搬送です。ハンドの駆動は高速・高精細でクリーンな搬送を可能にしています。 |
| タック対策 |
露光室への調質クリーンエアはマスクホルダへ直接吹き付け、ガラス（マスク）の温度上昇を防ぎます。さらに露光ステージ内を水冷することにより、基板のタックを最小限に抑えています。 |
| リモートサポートサービス |
露光装置と当社のサポートセンターを、インターネットで接続可能な構造としました。これにより、タッチパネル画面及び、画像処理画面等を互いに確認しながらの、より迅速かつ、わかり易いリアルタイムサポートが可能です。 |
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