| 高生産性 |
画像処理や基板搬送にかかる時間を大幅に短縮し、スループット270枚以上/時（4.5枚以上／分）が可能です。
（露光時間2.5秒、10枚毎にアライメント時） |
| 薄板基板対応 |
最大基板サイズ559×635mm（22×25インチ）までの基板の露光が可能です。また、フレキシブル基板などの薄板基板（基材厚：0.05mmt）にも柔軟に対応可能です。 |
| 消耗品メンテナンス時期 管理機能 |
各種消耗品の交換時期、メンテナンス箇所のメンテナンス期限を予め設定しておく事で、装置稼動中に警告を表示し、作業者に注意を促します。 |
| 新密着方式 |
新密着方式（U−コンタクト方式）の採用により、高速かつ、均一で安定した密着が可能となりました。 |
| 自動段取り機能 |
開始ボタン1つで、上側マスクマーク、下側マスクマーク、カメラ位置、XYθステージ位置等の登録を装置が自動で行います。
これにより、段取り時間を大幅に削減しました。 |
| リモートサポートサービス |
露光装置と当社のサポートセンターを、インターネットで接続可能な構造としました。これにより、タッチパネル画面及び、画像処理画面等を互いに確認しながらの、より迅速かつ、わかり易い リアルタイムサポートが可能です。 |
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