• 기판 및 마스크 신축의 영향을 최소한으로 하기 위하여 노광에리어 이 외를 셔터를 통해 차광하여 2분할・3분할・4분할・6분할 노광을 실행합니다.
• 얼라이먼트는 분할영역 면（面）마다 실행하기 때문에,오버레이어 정밀도가 향상합니다. 또 기존의 노광장치와 동일하게 일괄노광도 가능하기 때문에 기판의 요구정밀도에 맞추어 선택.사용이 가능합니다.
• 마스크 사이즈는 큰 상태이므로 최소기판도마다의 시리얼 넘버도 그대로 노광할 수 있습니다. 또, 같은 분할노광방식인 스텝퍼와 비교해 장치 가격이 저렴합니다.

6분할노광의 경우 기판전체에 프리얼라이먼트을 실행한 후, 분할 에리어 면（面）마다（1～6의 순）얼라이먼트・노광을 실행합니다.