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| 스텝＆스텝 확대투영 자동노광장치 [ New ] |
| APEX5000 series |
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| APEX5000 series는、기존의 스텝＆리피트 방식에 당사의 독자적인 스텝＆스텝 방식도 선택할 수 있어 보다 유연한 패턴의 노광을 할 수 있습니다. |
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| 특징 |
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| 스텝＆스텝 2배 확대노광방식（특허출원 완료） |
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레티클（마스크）와 노광 스테이지를 병행하여 스텝시키는 동작을 실현한 것으로 기존의 스텝＆리피트 방식에서는 대응 할 수 없었던 유연한 패턴의 노광이 가능하게 되었습니다.
（기판주변의 쿠폰・피스내의 로케이션 번호・불균등 분할 등） |
| 종횡 독립 노광 배율 가능 기능（X・Y독립 변배 기능） |
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투영배율을X・Y방향으로 독립하고 리얼타임에 자동조정이 가능하기 때문에、프린트 기판에 특유한 기판 신축을 좋은 정밀도로 수정이 가능합니다. |
| 고해상도 투영 광학계 |
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렌즈의 가공 정밀도、렌즈 설치방법의 불균형등을 설계단계부터 고려하여 Distortion을 최대한 억제하여 전면적으로 균일한 고해상도를 달성하였습니다. |
| 깊은 집점 심도 |
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깊은 집점 심도의 실현에 따른 凹凸이있는 기판이나 휘어짐・파도모양이 있는 기판에도 쉽게 대응이 가능합니다. |
| TTL（Through The Lens）얼라이먼트 방식 |
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마스크 상의 얼라이먼트 마크의 투영상과 기판상의 마크를 각각 다른 CCD로 동시검출을 하기 때문에 고정밀도의 X・Y독립변배와 얼라이먼트가 가능합니다.
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| 레티클 체인져 |
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레티클（마스크）체인져에 의해 마스크 교환을 자동적으로 실행합니다. |
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