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| 스텝 & 리피트 확대투영 자동노광장치 |
| APEX4000 series |
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APEX4000 series는 스텝＆리피트 방식에 의한 프린트 기판용 투영식 자동노광장치 입니다.
당사가 개발한 2배 확대 투영 렌즈를 탑재하고 있기 때문에 1회의 노광으로 넓은 범위를 노광 할 수있습니다. |
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| 특징 |
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| 2배확대 투영방식 |
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6인치 사이즈（152×152mm）의 작은 마스크로, 250×200mm（φ320mm）의 대면적을 일괄 노광할 수 있습니다. 또한, 마스크 비용을 억제함과 동시에, 마스크 수납 공간을 작게 할 수 있습니다. |
| 고해상도 투영 광학계 |
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렌즈의 가공 정밀도、렌즈 설치방법의 불균형등을 설계단계부터 고려하여 Distortion을 최대한 억제하여 전면적으로 균일한 고해상도를 달성하였습니다. |
| 고생산성 |
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510×610mm 기판을 6분할, 510×410mm 기판을 4분할로 노광할 수 있기 때문에, 생산성이 뛰어납니다. |
| Exposure Area |
4 Exposure Steps |
6 Exposure Steps |
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| 깊은 집점 심도 |
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깊은 집점 심도의 실현에 따른 凹凸이있는 기판이나 휘어짐・파도모양이 있는 기판에도 쉽게 대응이 가능합니다. |
| 종횡 독립 노광배율 가변기능（X・Y 독립변배기능） |
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투영배율을 X・Y방향 둘 다 독립적으로 실시간 자동조정이 가능하기 때문에, 프린트 기판 특유의 기판신축을 고정밀도 보정할 수 있습니다. |
| TTL（Through The Lens）얼라이먼트 방식 |
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마스크 상의 얼라이먼트 마크의 투영상과, 기판상의 마크를 각각 별도의 CCD로 동시에 검출하기 때문에 고정밀도의 X・Y 독립변배와 얼라이먼트가 가능합니다.
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| 레티클 체인져 |
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레티클（마스크）체인져에 의해 마스크 교환을 자동적으로 실행합니다. |
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