노광 스테이지 상에서 위치를 맞추고, 노광직전에서의 재확인을 함으로써 노광위치 정밀도의 신뢰성을 높이고 있습니다. 또, 화상처리에 형상서치 방식을 채택함으로써, 마크의 인식능력이 향상되었습니다.

노광 스테이지로에 대한 기판흡착은, 기판 사이즈에 맞춘 최적의 공간에서 흡착하므로 안정적인 밀착이 가능합니다.
더우기 노광 스테이지는 2단 슬라이드 구조로 되어있어서, 한 쪽이 노광 작업을 하면서 다른 한 쪽의 노광 테이블에서 다음 기판의 준비를 할 수 있습니다.

올 스텐레스 커버에 추가해 이오나이저 탑재・HEPA 필터를 통한 다운 플로우화로 부유 먼지에 의한 불량 발생을 억제하고 있습니다.

조작은 대화식 터치 패널로 행합니다. 또, 기판종류의 등록은 카메라 위치를 포함하는 1000종류를 등록할 수 있기 때문에 다품종 소량 생산에 최적인 조작성, 준비성을 겸비하고 있습니다.

ADEX5100 series에 표준탑재되어 있는, 분할노광 셔터의 탑재도 가능한 구조로 했습니다.

분할노광（분할 셔터 기능）이란