기판이나 마스크의 신축 영향을 최소한으로 줄이기 위해 노광에리어 이외를 셔터로 차광하고, 2분할・3분할・4분할・6분할노광을 실행합니다. 얼라이먼트는 분할에리어 면마다 실행하기 때문에 오버레이어 정밀도가 향상됩니다. 또한 종래의 노광장치와 같이 일괄 노광도 가능합니다.

분할노광（분할 셔터 기능）이란

기판의반송방식에는 당사 독자의 흡착 핸드반송을 채용하여 고속으로 극박판기판（기재두께:0.025mmt）의 반송이 가능합니다. 또한 솔더 레지스트용 모델에는 비접촉형 흡착기구를 추가하여 기판과 흡착패드의 접촉부분을 필요한 최소의 기판단만을 두고 있습니다.

노광실내에 클린롤러와 집진 노즐을 표준 탑재하여 설정매수마다 마스크와 플라텐의 클리닝을 자동으로 실행합니다. 이에 따라 기판에 붙어 있는 이물의 영향을 억제하는 것 뿐만 아니라, 작업자에 따른 클리닝 작업시간의 경감에도 연관됩니다.

각종 소모품의 교환시기, 메인터넌스 개소의 메인터넌스 기한을 사전에 설정하여 놓는 것으로 장치 가동중에 경고를 표시하여 작업자에게 주의를 촉진합니다.

당사독자의 U－Contact방식의 채용으로 빠르고 균일하며 안정된 밀착이 가능하게 되었습니다.
또한 이 방식으로 완전 스페이서레스를 실현한 것 외에도 패턴용 모델에서는 기판 사이즈를 한정하는 것으로 더욱 좋은 고해상도가 가능하게 되었습니다.

노광장치와 당사의 서포트 센터를 인터넷으로 접속 가능한 구조로 하였습니다. 이것을 통해 터치판넬 화면 및 화상처리 화면등을 서로 확인하면서 보다 신속하고 알기 쉬운 리얼 타임 서포트가 가능합니다.

솔더 레지스트용 노광장치 전용으로 새로운 램프 시스템（광원）을 탑재 가능하게 하였습니다.
MLS는、기존의 광원（5Kw평행광）에 비교하여、약1.5배 환산의 높은 에너지로 노광시간을 단축 시킬 뿐만 아니라 램프 교환이 용이하며 램프 수명은 2000시간으로 수명이 길어 런닝 코스트의 대폭절감을 실현하였습니다.