• 노광 스테이지 상에서 위치를 맞추고 노광 직전에 재확인을 함으로써 노광위치 정밀도의 신뢰성을 높이고 있습니다. 또, 화상처리에 형상 서치방식을 채용함으로서, 마크의 인식능력이 향상되었습니다.
• 또한, 종래의 마크 안분방식을 포함한 새로이 MMD（마크간거리 최소법）방식을 이용한 위치 맞춤도 가능합니다.

노광 스테이지는 이음새가 없는 1장으로 된 테이블을 채택해 플렉시블 기판 등 박판기판의 안정된 반송・밀착・노광이 가능합니다.

올 스텐레스 커버에 추가해서, 이오나이저 탑재・HEPA 필터를 통한 클린 에어를 마스크 홀더 윗면에 불어 먼지에 의한 불량 발생을 억제하고 있습니다.

기판의 반송은 진공밀착에 의한 핸드 반송입니다. 핸드 구동은 고속・고정밀이며 클린한 반송을 가능하게 하고 있습니다.

노광실의 조질（調質）클린 에어는 마스크 홀더에 직접 공기를 불어주어 유리（마스크）의 온도 상승을 막아줍니다. 또 노광 스테이지안을 수냉하는 것으로 기판의 TACK을 최소한으로 억제하고 있습니다.

노광장치와 당사의 서포트 센터를 인터넷으로 접속 가능한 구조로 하였습니다. 이것을 통해 터치판넬 화면 및 화상처리 화면 등을 서로 확인하면서 보다 신속하고 알기 쉬운 리얼 타임 서포트가 가능합니다.