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ADEX3000P는 진공밀착방식과 가압밀착방식의 2종류의 선택을 할 수 있습니다.
반송, 밀착방식, 먼지 대책, 위치 맞추기 등에서 개량개선을 더해 종래 이상으로 고품질 기판의 안정생산을 가능하게 했습니다. |
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※사진은 클린 롤러（옵션）탑재시입니다 |
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| 특징 |
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| 고정밀도 얼라이먼트 |
- 노광 스테이지 상에서 위치를 맞추고 노광 직전에서의 재확인을 행하여, 노광위치 정밀도의 신뢰성을 높이고 있습니다. 또, 화상처리에 형상 서치방식을 채택함으로써 마크의 인식능력이 향상되었습니다.
- 또한, 종래의 마크 안분방식을 포함한 새로이 MMD（마크간거리 최소법）방식을 이용한 위치 맞춤도 가능합니다.
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| 박판기판대응／1장 테이블 구조 |
노광 스테이지는 이음새가 없는 1장으로 된 테이블을 채택해 플렉시블 기판 등 박판기판의 안정된 반송・밀착・노광이 가능합니다. |
| 이물 발생 억제 |
반전기 부분에 클린롤러 유닛을 탑재할 수 있는 스페이스를 마련하여 기판 클리닝이 가능한 구조로 신 개발한 자동 마스크 플라텐 클리닝 기구을 표준 탑재하는 것으로 이물에 의한 불량 발생을 억제하였습니다. |
| 고속 기판반송기구 |
기판의 반송은 진공밀착에 의한 핸드 반송입니다. 핸드의 구동은 고속・고정밀이며 클린한 반송을 가능하게 하고 있습니다. |
| 스페이서 없음 |
기존의 가압밀착방식을 포함해, 이번에 새로이 진공밀착방식에서도 스페이서가 없는 방식을 실현했습니다.（단, 일부 사이즈는 제외） |
| 리모트 서포트 서비스 |
노광장치와 당사의 서포트 센터를 인터넷으로 접속 가능한 구조로 하였습니다. 이것을 통해 터치판넬 화면 및 화상처리 화면 등을 서로 확인하면서 보다 신속하고 알기 쉬운 리얼 타임 서포트가 가능합니다 |
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