| 높은 생산성 |
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화상처리 및 기판반송에 걸리는 시간을 대폭 단축하여 throughput 270장 이상/시（4.5장 이상／분）이 가능합니다.
（노광시간2.5초、10매씩 얼라이먼트 시） |
| 박판기판 |
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최대기판사이즈559×635mm（22×25인치）까지 기판노광이 가능합니다. 또 플렉서블 기판등의 박판기판（기판두께:0.05mmt）에도 대응 가능합니다. |
| 소모품 메인터넌스 시기 관리기능 |
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각종 소모품의 교환시기, 메인터넌스 개소에 메인터넌스 기한을 사전에 설정해 놓는 것으로、장치 가동중에 경고를 표시하여 작업자에게 주위를 촉진합니다. |
| 신밀착방식 |
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신밀착방식（U－컨택트방식）의 채용으로 고속이면서 균일하고 안정된 밀착이 가능합니다. |
| 자동 셋팅 기능 |
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개시 버튼 1개로、상측 마스크 마크、하측 마스크 마크、카메라 위치、XYθ스테이지 위치 등의 등록을 장치가 자동으로 실행합니다.
이것으로 셋팅 시간을 대폭 절감하였습니다. |
| 리모트 서포트 서비스 |
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노광장치와 당사의 서포트 센터를 인터넷으로 접속 가능한 구조로 하였습니다. 이것을 통해 터치판넬 화면 및 화상처리 화면 등을 서로 확인하면서 보다 신속하고 알기 쉬운 리얼 타임 서포트가 가능합니다. |
