• 使用遮光板遮住曝光区域以外的部位，作2分割・3分割・4分割・6分割，可将基板和底片涨缩的影响可抑制到最低。
• 由于每个分割区域都做对位，提升了OVERLAYER分割精度。另外，也可与以往的曝光机一样使用一次曝光功能，可依据基板的要求精度加以选择。
• 由于掩膜尺寸较大，因此对每个最小电路板的图样序列号都可进行曝光。而且，与采用相同的分割曝光方式的步进曝光机相比，价格便宜。

实行6分割曝光时，先对基板整体做预对位后，再针对每片分割区块(按从1～6的顺序)，依次对位及曝光。