|
|
| STEP＆STEP 放大投影自动曝光装置 [ New ] |
| APEX5000 series |
|
 |
APEX5000 series在以往的STEP＆REPEAT的方式上,又增加了敝司独特的STEP＆STEP方式以供选择, 使线路曝光更具灵活性。 |
 |
|
|
| 特点 |
|
| STEP＆STEP双倍放大曝光方式（已提请专利申请） |
|
由底片（MASK）与曝光台面并行实现了STEP的动作，将以往STEP＆REPEAT方式无法对应的线路曝光得以实现。
（基板周围的COUPON，小PIECE内的位置编码・不均等分割等） |
| 纵横独立曝光倍率可变功能（X・Y独立变倍功能） |
|
由于投影倍率X・Y方向独立,可以自动调整REAL TIME,故可针对印刷电路板特有的基板涨缩精良的进行补偿。 |
| 高解析度投影光学系 |
|
从设计阶段就开始考虑镜头的加工精度及镜头安装方法的公差,极力减少松懈,实现了全面均匀的高解析度。 |
| 深焦点深度 |
|
因为实现了深焦点深度，即使是有凹凸或翘起或涨缩的板子。 |
| TTL（Through The Lens）对位方式 |
|
由于MASK上的对位MARK的投影像，与基板上的MARK分别由CCD同时检测，可实现高精度的X.Y独立变倍和对位。 |
| 自动更换底片功能 |
|
底片更换可自动进行。 |
|
