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| STEP & REPEAT 放大投影自动曝光装置 |
| APEX4000 series |
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APEX4000 series是采用STEP&REPEAT方式的印制电路板投影式自动曝光机。
因为搭栽了敝司自行研发的双倍放大投影镜头,可实现大范围的单次曝光。 |
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| 特点 |
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| 2倍放大投影方式 |
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以6英寸(152×152mm)的小掩膜,可一次性地曝光250×200mm(φ320mm)的大面积。并且在降低掩膜成本的同时还可缩减掩膜的放置空间。 |
| 高解析度投影光学系 |
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从设计阶段就开始考虑镜头的加工精度及镜头安装方法的公差,极力减少松懈,实现了全面均匀的高解析度。 |
| 高生产性 |
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由于对于510×610mm的电路板进行6shot曝光,510×410mm电路板进行4shot曝光,因此具有优越的生产性。 |
| Exposure Area |
4 Exposure Steps |
6 Exposure Steps |
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| 深焦点深度 |
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因为实现了深焦点深度,即使是有凹凸或翘起或涨缩的板子。 |
| 纵横独立曝光倍率可变的功能(X・Y分别变倍功能) |
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由于可以在X・Y方向上分别地、自动实时地调节投影倍率,因此可对印刷电路板特有的电路板伸缩进行高精度的修正。 |
| TTL(Through The Lens)对位方式 |
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可以分别用不同的CCD同时检测出掩膜上的对位标志的投像与电路板上的标志,因此可高精度地进行X・Y分别变倍与对位。
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