| 高精度对位 |
- 在曝光台上进行对位，并且在曝光前进行再次确认，提高曝光对位精度。并且，图像处理采用特征搜索方式，提高了标志识别能力。
- 另外，除了原有的标记比例分配方式，还可以通过最新的MMD（标记间距最小法）方式，进行对位操作。
|
| 适合薄板电路板／单层台面结构 |
曝光台采用无缝整张台面，可对软性电路板等薄板电路板，进行稳定的传送、密接和曝光。 |
| 防止灰尘产生 |
除了采用全不锈钢外罩以外，还通过配备除电器以及通过HEPA过滤器吹拂掩膜板，从而防止了灰尘导致产生次品。 |
| 高速电路板传送结构 |
电路板的传送是通过真空密接传送带进行的。传送带的驱动可以实现高速、高精确的清洁传送。 |
| 防止粘板对策 |
洁净空气直接吹到曝光室内的底片框上，防止玻璃（MASK）的温度上升。另外，曝光台面内采用水冷，可最小限度的抑制粘板。 |
| 远程技术支援 |
通过英特尔可将曝光机与敝司的技术支援中心连接起来，由此可相互确认触摸屏画面及画像处理画面等，迅速且更易即时进行服务支援。 |
 |
