| 高精度对位 |
- 在曝光台上进行对位，并且在曝光前进行再次确认，提高曝光对位精度。并且，图像处理采用特征搜索方式，提高了标志识别能力。
- 另外，除了原有的标记比例分配方式，还可以通过最新的MMD（标记间距最小法）方式，进行对位操作。
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| 适合薄板电路板／单层台面结构 |
曝光台采用无缝整张台面，可对软性电路板等薄板电路板，进行稳定的传送、密接和曝光。 |
| 抑制粉尘的产生 |
在翻转机部位设计有可加配清洁装置的空间，可针对基板进行清洁，另外标准搭载了自动MASK・台面清洁机构，抑制了粉尘的产生。 |
| 高速电路板传送结构 |
电路板的传送是通过真空密接传送带进行的。传送带的驱动可以实现高速、高精确的清洁传送。 |
| 无衬垫 |
除了原有的加压密接方式，通过这次新采用的真空密接方式，也可以实现无衬垫操作。（但是，部分尺寸的电路板除外） |
| 远程技术支援 |
通过英特尔可将曝光机与敝司的技术支援中心连接起来，由此可相互确认触摸屏画面及画像处理画面等，迅速且更易即时进行服务支援。 |
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