除远程技术支援服务外，还有定期点检，清洁等服务支援，光学系维护支援等服务。
通过因特网连接客户的曝光装置和本公司的CS支持中心，双方可以通过触摸屏幕和图像处理画面同时进行确认，实时为客户提供咨询。（客户方须连接有因特网。）
