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| STEP & STEP放大投影自動曝光機 [ New ] |
| APEX5000 series |
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| APEX5000 系列除了原有的STEP & REPEAT之外並可選擇敝公司獨立開發的STEP&STEP機能、可達到更有彈性的線路曝光效能。 |
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| 特點 |
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| STEP&STEP2倍擴大曝光方式(已申請專利) |
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由於使底片(MASK)與曝光檯面同時動作而能達到原來STEP&REPEAT式無法對應之彈性線路曝光。
(基板週邊的COUPON・PIECE內的位置編號・不等分分割等) |
| 縱橫獨立曝光倍率可變機能(X・Y獨立變倍機能) |
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因為X・Y方向投影倍率獨立可即時調整、來達到精密補正印刷電路板特有漲縮的效能。 |

| 高解析度投影光學機構 |
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自設計階段起考慮到鏡片加工精度、鏡片安裝方法的誤差等等、極力縮小變倍來達到全面平均的高解析度。 |
| 焦點深度 |
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因為較大的焦點深度、無論板彎、板翹或波浪狀基板均可輕鬆對應。 |
| TTL(Through The Lens)對位方式 |
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因為底片上的對位點投影與基板上的MARK以個別的CCD同時分辨、可達到高精度X・Y獨立變倍與對位之效果。 |
| 底片交換器 |
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可以底片(MASK)交換器作自動底片之交換。 |
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