| 分割曝光（分割SHUTTER機能） |
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將基板及底片漲縮的影響降至最低、將曝光區域以外以SHUTTER遮蔽、進行2分割・3分割・4分割・6分割之曝光。因為在每一曝光面都進行對位、可提升OVERLAYER精度。此外亦可作ㄧ次曝光。
所謂分割曝光（分割SHUTTER機能） |
| 極薄基板對應 |
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在基板搬送方式方面、採用敝公司獨特的吸著手臂、可對應快速與極薄基板的搬送（基材厚:0.025mmt）。另外、綠漆用型號追加非接觸是吸著機構、將基板與吸嘴的接觸部分限制於板邊的最小範圍。 |
| 自動檯面／底片清潔機構 |
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曝光室內搭載清潔滾輪與集塵口等標準配備、可依設定片數自動進行底片與檯面之清潔。由此功能不僅可減少由基板夾帶之粉塵帶來的影響、也可以同時減少作業員的清潔作業時間。 |
| 消耗品交換・保養時間管理機能 |
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可預先設定各種消耗品的交換時間、保養位置的保養期限等、在設備生產時提示作業員注意。 |
| 採用U－接觸方式 |
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因採用敝公司獨特的U－接觸方式、達到快速且均一的安定密著。
另外、由此功能可完全不需使用導氣條、線路機型因限定基板尺寸、解析度更加提升。 |
| 遠端支援服務 |
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構造上可以透過網路連接曝光機與弊公司的支援中心。所以可經由雙方觸控螢幕及畫像處理畫面的確認達到更快速、易懂的即時支援服務。 |
| MLS（多光源系統） |
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綠漆曝光機可搭載之新燈系（光源）。MLS與原有光源（5Kw平行光）相比、以換算約1.5倍的高能量縮短曝光時間、燈管交換容易、2000小時的長壽命等優點大幅降低生產成本。 |
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