| 高精度對位 |
- 在曝光台面上進行對位，並且在曝光前進行再次確認，提高曝光對位精度。畫像處理採用形狀搜尋方式，提高了靶點識別能力。
- 除了原有的按分點對位方式外，還可以透過最新的MMD（靶點間距最小法）方式，進行對位。
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| 適合薄板電路板／無縫台面結構 |
曝光台面採用無縫整張臺面，可對軟性電路板等薄板電路板，進行穩定的傳送、密著和曝光。 |
| 防止粉塵產生 |
除了採用全不銹鋼外罩以外，還透過配備除電器以及透過HEPA過濾器吹拂底片框，從而防止了灰塵導致產生不良品。 |
| 高速電路板傳送機構 |
電路板的傳送是透過真空密著搬送手臂進行的。搬送手臂的驅動可以實現高速、高精確的清潔傳送。 |
| 防黏板對策 |
以曝光室內的CLEAN AIR吹向底片框、防止玻璃（底片）的溫度上升。此外曝光檯面內以水冷方式將黏板降至最低限度。 |
| 遠端支援服務 |
構造上可以透過網路連接曝光機與弊公司的支援中心。所以可經由雙方觸控螢幕及畫像處理畫面的確認達到更快速、易懂的即時支援服務。 |
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