| 高精度對位 |
- 在曝光台面上進行對位，且在曝光前進行再次確認，提高曝光對位精度。另外，畫像處理採用形狀搜尋方式，提高了靶點識別能力。
- 另外，除了原有的按分點對位方式，還可以透過最新的MMD式，進行對位操作。
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| 適合薄板電路板／無縫台面結構 |
曝光台面採用無縫整張台面，可對軟性電路板等薄板電路板，進行穩定的傳送、密著和曝光。 |
| 降低發塵量 |
在反轉機部份預設清潔機空間、除了基板清潔機外、更可搭載新開發的底片・檯面清潔機構來防止粉塵引起的不良。 |
| 高速電路板傳送結構 |
電路板的傳送是透過真空密著搬送手臂進行的。搬送手臂的驅動可以實現高速、高精確的清潔傳送。 |
| Spacer less |
除了原有的加壓密著方式外,透過這次新採用的真空密著方式，也可以實現spacer less。（但是，部分尺寸的電路板除外） |
| 遠端支援服務 |
構造上可以透過網路連接曝光機與弊公司的支援中心。所以可經由雙方觸控螢幕及畫像處理畫面的確認達到更快速、易懂的即時支援服務。 |
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