| 高生產性 |
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大幅縮短畫像處理及基板搬送時間、達到270片以上/小時(4.5片以上/分)的高生產力。
(曝光時間2.5秒、每10片對位時) |
| 薄板對應 |
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可對應最大基板SIZE559×635mm(22”×25”)。另外軟板等的薄板(基材厚:0.05mmt)可彈性對應。 |
| 消耗品交換・保養時間管理機能 |
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可預先設定各種消耗品的交換時間、保養位置的保養期限等、在設備生產時提示作業員注意。 |
| 採用U-接觸方式 |
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因採用敝公司獨特的U-接觸方式、達到快速且均一的安定密著。 |
| 自動生產準備機能 |
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按下開始鍵即由設備自動進行上側底片MARK、下側底片MARK、CAMERA位置、Xyθ檯面位置等的登錄作業。可大幅縮減生產準備時間。 |
| 遠端支援服務 |
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構造上可以透過網路連接曝光機與弊公司的支援中心。所以可經由雙方觸控螢幕及畫像處理畫面的確認達到更快速、易懂的即時支援服務。 |